나노전광
(주)나노전광(대표 김종수)은 광학 기술과 반도체 제작 장비 기술을 취급하는 회사이다. 2002년 ETRI에 옵토시스라는 상호명으로 창업해 2005년 4월 나노전광 주식회사로 상호명을 바꾸었다. 나노전광으로 회사명을 바꿀 때 동문창업관으로 이주하면서 KAIST와 인연을 맺었다. 설립 이후 약 5년간 2건의 특허 등록과 4건의 특허 출원, 1건의 상표 등록을 했다. 2002년부터 관련 기술을 끊임없이 개발해 2004, 2005년에는 나노전광의 대표 제품인 193nm Haze Accelerator와 Glass Scribing Machine의 상품화에 성공했다. 현재 시스템센트로이드는 KAIST 신기술창업관에 자리 잡고 있다.
나노전광은 “광학 및 반도체 장비 제작 및 공정 기술을 바탕으로 현장에서 필요로 하는 첨단 제품을 개발하여 고용 창출을 통한 우수 인재 양성에 이바지 하겠다. 또한 지속적인 기술 개발로 수입 위주인 국내 광학 및 반도체 장비 시장에서 수출 효자 품목을 부상시켜 국가 발전에 기여할 것”이라고 자신들의 포부를 분명히 한다.
나노전광의 주력상품 중 하나인 193nm Haze Accelerator이다. 반도체의 노광 공정에서는 Haze가 생긴다. Haze란 미세 선폭 구현을 구현할 때 짧은 파장의 레이저 (193 nm, ArF Excimer Laser)를 사용하여 노광 공정을 수행하는 경우에 마스크에 발생하는 일종의 불량 조직을 말한다. 이러한 Haze는 소자 불량의 중요한 원인이 된다. 193nm Haze Accelerator는 이 Haze를 강제로 생성시킨다. 생성된 Haze는 이 기기를 이용해 그 변화를 측정할 수 있다. 이 과정을 통해 Haze의 변화를 관찰하고 기록한다. 이 기록은 실제 가공공정에서 Haze 발생 조건을 탐색하고 Haze를 미리 예방할 수 있게 된다. 이러한 기술은 마스크 불량으로 인한 소자 불량 정도를 크게 낮추는 역할을 한다.

Glass Scribing Machine은 FPD (Flat Panel Display) 등의 기판이 되는 유리를 다양한 모양과 크기로 절단할 수 있는 장비이다. FPD와 같은 차량용 유리 절단부터 디스플레이 외에도 반도체 관련 유리기판의 절단까지 다양한 분야에서 유리 가공을 할 때 사용된다. 나노전광이 개발한 장비는 레이저가 아닌 커팅휠을 이용한 절단장비이며 이는 레이저 절단기에 비해 가격이 저렴하다. 뿐만 아니라 조작이 쉽고 유지비용이 거의 없다는 장점을 가지고 있다. 나노전광은 “균열이 없는 유리 절단면과 임의 형상 가공은 당사만의 노하우이다”라고 자랑한다. 김종수 대표는 "커팅휠 스크라이빙 장비는 LCD, PDP, FED, OLED 등의 평판디스플레이 분야의 소자 개발 업체 및 연구소에서 많은 수요가 발생하고 있는 장비이다. 나노전광(주)는 광정렬계 시스템 장비 부문에서 쌓은 노하우를 바탕으로 최근 정렬 정밀도 수준을 끌어 올린 나노임프린트 장비를 개발 중이다"라며 계획을 밝힌 바 있다.

이외에도 고광도의 할로겐 빛을 한정된 넓이에 고르게 비추어 표면상의 미세한 먼지의 유입이나 이물질, 스크래치, 등 제품 표면의 결함 및 이상을 육안으로 찾아낼 수 있도록 제작된 Spotlight, 미세가공이나 나노가공에 쓰이는 Glass Mesh Hole이나 나노스탬프도 나노전광이 자랑하는 제품들이다.

<업체 프로필>
업체명 : 나노전광
대표이사 : 김종수
설립시기 : 2002년 6월
주소 : 305-701 대전시 유성구 구성동 400 KAIST 동문창업관 5110호
전화번호 : 042-867-7968/9
홈페이지 : http://www.nanoeo.com/
KAIST 산학협력단과의 관계 : 입주기업(2005. 4. 9 입주~)